|
|
||
|
Оборудование |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
||||||||
|
|
||||||||
|
|
Сверхвысоковауумный сканирующий зондовый микроскоп JSPM-4610
Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп (СВВ-СЗМ) JSPM-4610 разработан фирмой JEOL как инструмент, который демонстрирует максимальные возможности для проведения анализа поверхностей. В его усовершенствовании фирма JEOL продемонстрировала все технические возможности, которые были накоплены за длинные годы работы в качестве производителя научного оборудования.
Технические характеристики JSPM-4610
|
Разрешающая способность |
Горизонтальная: 0,14 нм (СТМ), атомная разрешающая способность для АСМ. |
|
Механическое перемещение |
С помощью моторов |
|
Движение по оси Z (функция приближения) |
Грубо контролирует расстояние между образцом и верхушкой зонда. |
|
Механизм автоприближения |
Встроенный |
|
Движение по оси X и Y (функция смещения образка) |
|
|
Диапазон перемещения |
По оси X и Y: 4 нм (±2 нм)(СТМ) |
|
Индикатор центра позиции |
Встроенный |
|
Сканер |
|
|
Тип |
Stack share (STM). Трубка (АСМ) |
|
Диапазон перемещения |
По оси X и Y: 0,2 мкм (200 нм), по оси Z: 0,6 мкм (СТМ) |
|
Изменение направления сканирования |
От -180 до + 180° |
|
Скорость сканирования |
|
|
Шаг сканирования |
От 1,7 мс до 10 с/линию (16 шагов) |
|
Диапазон сканирования |
|
|
Диапазон изменений |
От 0 до 200 нм |
|
Функция масштабирования |
Имеется |
|
Образец |
|
|
Количество образцов во время сканирования |
Один (Для смены образца используется магнитный манипулятор) |
|
Размер образца |
Максимальный: 10 мм × 10 мм × 5 мм |
|
Механизм нагрева образца |
|
|
Метод нагрева |
Прямой нагрев благодаря электрическому сопротивлению образца |
|
Температура нагрева |
От комнатной температуры до более, чем 1200°C |
|
Зонд |
|
|
Количество зондов |
Один (для замены зонда используется магнитный манипулятор) |
|
Материал |
W (вольфрам) |
|
Очистка зонда |
Благодаря использованию выскоих значений тока смещения |
|
Дрейф |
|
|
Системный дрейф |
Менее 0,05 нм/с (при комнатной и более высокой температуре) |
|
Детекция сигнала |
|
|
Режим СТМ (сканирующей туннельной микроскопии) |
|
|
Режим СТС (сканирующей туннельной спектроскопии) |
|
|
Ток туннелирования |
От 30 пА до 1 мкА |
|
Напряжение смещения |
|
|
Диапазон изменений |
От 0 до ±10 В |
|
Строение камеры |
Трехкамерная конструкция (3 камеры откачиваются независимо одна от другой) |
|
Камера УВВ-СЗМ |
Для установки стола СТМ |
|
Давление в камере УВВ-СЗМ |
Менее 3 × 10-8 Па |
|
Камера обработки образца |
Для обработки образца и сохранения зонда и образца |
|
Давление в камере обработки образца |
Приблизительно 10-7 Па |
|
Промежуточный шлюз |
Для замены зонда и образца |
|
Давление в переходном шлюзе |
Приблизительно 10-4 Па |
|
Нагреватель для отжига |
Встроенный |
|
Устроства для уменьшения вибрации |
|
|
Пневматическая подвеска |
Подвеска универсального типа |
|
Метод сложения |
3-стольный 4-цилиндрический |
|
Компьютерная система контроля (КСК) |
|
|
Компьютерная сиситема |
Совместимая с IBM PC/AT |
|
Система обработки изображений |
|
|
Объем памяти кадров |
512 × 512 × 8 бит |
|
АЦ и ЦА конвертеры |
Высокоскоростной 16-битный |
|
Дисплей |
Цветной монитор с высоким разрешением |
|
Программное обеспечение для контроля |
Меню настройки сканирования (задание координат X, Y, Z, скорости сканирования) |
|
Программное обеспечение для обработки изображений |
Более 100 типов |
Парк оборудования Центра зондовой микроскопии состоит из: высоковакуумного зондового микроскопа, оптического микроскопа, установки магнетронного напыления, высокоточных аналитических весов, дериватографа, однолучевого спектрофотометра, лиофильной сушки. Данная апаратура разработана и изготовлена фирмами, которые являются признанными мировыми лидерами в области вакуумного и аналитического оборудования и имеет 100% сертификацию соответствия, что является необходимым условием при закупке аналитического оборудования.
